德國(guó)HEIDENHAIN直線光柵尺LIP6000系列行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

德國(guó)海德漢HEIDENHAIN直線光柵尺LIP6000系列光學(xué)掃描的直線光柵尺或編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)都是周期刻線光柵。這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對(duì)于大長(zhǎng)度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。海德漢公司用以下特別開發(fā)的光刻工藝制造精密光柵?？刮廴镜腻兘饘咏饘贃沤^對(duì)式測(cè)量是指光柵尺或編碼器在通電時(shí)立即提供位置值并隨時(shí)供后續(xù)電子電路讀取。無(wú)需移動(dòng)軸執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作。絕對(duì)位置信息由一系列絕對(duì)碼編排的光柵讀取。單獨(dú)的增量刻軌信號(hào)通過細(xì)分生成位置值，同時(shí)用于生成可選的增量信號(hào)線，典型柵距：40 μm玻璃基體的超硬鉻柵線（典型柵距：20 μm）或玻璃基體的三維鉻線格柵典型柵距8 μm相位光柵,光學(xué)三維平面格柵，抗污能力,典型柵距不超過相位光柵光學(xué)三維平面格柵，它是最終檢測(cè)中確定的并標(biāo)注在檢定記錄圖中。

對(duì)于封閉式直線光柵尺，該數(shù)據(jù)體現(xiàn)含讀數(shù)頭在內(nèi)的光柵尺精度，不要自行拆開光柵尺傳感器，更不能任意改動(dòng)主柵尺與副柵尺的相對(duì)間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對(duì)摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報(bào)廢。應(yīng)注意防止油污及水污染光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測(cè)量誤差。光柵尺傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質(zhì)量也即系統(tǒng)精度。單信號(hào)周期內(nèi)細(xì)分誤差單信號(hào)周期內(nèi)的細(xì)分誤差取決于光柵尺的信號(hào)周期、光柵質(zhì)量和掃描質(zhì)量。

在任何測(cè)量位置，該誤差通常在信號(hào)周期的± 2%至± 0.5 %范圍內(nèi)信號(hào)周期越小，單信號(hào)周期內(nèi)的細(xì)分誤差也越小。這對(duì)定位運(yùn)動(dòng)精度和慢速運(yùn)動(dòng)以及軸運(yùn)動(dòng)期間的速度控制非常重要，因此決定表面質(zhì)量和被加工件的質(zhì)量。超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有優(yōu)異的邊緣清晰度和均勻性。結(jié)合光電掃描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質(zhì)量信號(hào)的關(guān)鍵。母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機(jī)制造。

技術(shù)參數(shù)：

光柵周期    8.000 µm熱系數(shù)

線性膨脹    0·10-6K-1

準(zhǔn)確度等級(jí)±1.0微米

測(cè)量長(zhǎng)度20 毫米

標(biāo)記位置ML/2——在測(cè)量長(zhǎng)度的中間

緊固類型夾緊

厚度 2.90 毫米

寬度 15.00 毫米